Self-assembly of block copolymers under nonisothermal annealing conditions as revealed by grazing-incidence small-angle X-ray scattering
Fernández Regúlez, Marta (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
Solano, Eduardo (ALBA Laboratori de Llum de Sincrotró)
Evangelio Araujo, Laura (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Gottlieb, Steven (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
Pinto-Gomez, Christian (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
Rius, Gemma (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
Fraxedas, Jordi (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Gutiérrez-Fernández, Edgar (Consejo Superior de Investigaciones Científicas (Espanya). Instituto de Estructura de la Materia)
Nogales, Aurora (Consejo Superior de Investigaciones Científicas (Espanya). Instituto de Estructura de la Materia)
García-Gutiérrez, Mari Cruz (Consejo Superior de Investigaciones Científicas (Espanya). Instituto de Estructura de la Materia)
Ezquerra, Tiberio A. (Consejo Superior de Investigaciones Científicas (Espanya). Instituto de Estructura de la Materia)
Pérez Murano, Francesc (Institut de Microelectrònica de Barcelona)

Fecha:	2020
Resumen:	An accurate knowledge of the parameters governing the kinetics of block copolymer self-assembly is crucial to model the time- and temperature-dependent evolution of pattern formation during annealing as well as to predict the most efficient conditions for the formation of defect-free patterns. Here, the self-assembly kinetics of a lamellar PS-b-PMMA block copolymer under both isothermal and non-isothermal annealing conditions are investigated by combining grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS) experiments with a novel modelling methodology that accounts for the annealing history of the block copolymer film before it reaches the isothermal regime. Such a model allows conventional studies in isothermal annealing conditions to be extended to the more realistic case of non-isothermal annealing and prediction of the accuracy in the determination of the relevant parameters, namely the correlation length and the growth exponent, which define the kinetics of the self-assembly.
Ayudas:	European Commission 665919 Ministerio de Economía y Competitividad RTI2018-102007-B-I00 Ministerio de Economía y Competitividad RYC-2016-21412 Ministerio de Economía y Competitividad MAT2015-66443-C02-1-R Ministerio de Economía y Competitividad MAT2015-68307-P Ministerio de Economía y Competitividad TEC2015-69864-R Ministerio de Economía y Competitividad PID209-107514GB-100 Agencia Estatal de Investigación SEV-2017-0706 Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca 2017/SGR-1187
Nota:	Altres ajuts: the ICN2 is funded by the CERCA program/General-itat de Catalunya. The ICN2 is supported by the Severo Ochoa Centres of Excellence programme, funded by the Spanish Research Agency (AEI, grant No. SEV-2017-0706) (MINECO/FEDER, UE).
Derechos:	Tots els drets reservats.
Lengua:	Anglès
Documento:	Article ; recerca ; Versió acceptada per publicar
Materia:	Block copolymer ; Self-assembly ; Kinetics ; Correlation length ; GISAXS
Publicado en:	Journal of Synchrotron Radiation, Vol. 27, issue 5 (Sep. 2020) , p. 1278-1288, ISSN 1600-5775

DOI: 10.1107/S1600577520009820

Postprint 29 p, 1.6 MB

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